真空閘閥是什麼？真空閘閥的優點介紹

隨著台灣半導體與各種電子工業產能逐年擴大，以至於製程品質與生產效率成為廠商首要考慮問題。真空閥門是真空製程系統中的核心設備，真空品質也決定了良率問題。本篇文章帶大家認識真空閘閥的優缺點，以及了解更多UHV超高真空閘閥的應用。

真空閘閥是什麼？

真空閘閥（Vacuum Gate Valve）的工作原理是通過控制連接管路的『閘門』來阻斷或接通管路內的介質。真空閥門用於保護真空泵浦，以及作為抽氣的分流引導功能。在各類真空自動化生產線上，用於控制氣體的流動，實現在管道上控制接通或切斷管路的流通精確的工藝控制。業界常見的真空閘閥可分為兩種，分別是高真空閘閥（High-Vacuum Gate Valve）與超高真空閘閥（Ultra High-Vacuum Gate Valve）。

真空度差異：

• 高真空閘閥（HV Gate Valve）: 10^-4 mbar ~ 10^-8 mbar
• 超高真空閘閥（UHV Gate Valve）: 10^-9 mbar ~ 10^-12 mbar

基本結構

真空閥門的主要是由三個部件構成，分別是最頂端的『執行器』、『閥體』與『密封閘板』。

• 執行器：閥門的開關可分為手動或氣動。氣動開關的真空閘閥多數以壓縮空氣的方式進行控制，有的也會搭配電磁閥來操作。
• 閥體：真空閘閥的材質大多是採用不鏽鋼、鋁合金或等優質金屬材料製成，因為金屬具有優異的抗腐蝕與耐熱性，而且還有高的密封性，能夠應付大部分嚴苛的使用環境，使用壽命得到保障。
• 閘板：密封閘板在關閉狀態下，能夠有效截斷且密封隔絕空氣或是製程氣體。

真空閘閥的應用有哪些？

1. 安裝於真空腔體和真空泵浦之間，達到隔絕真空腔體與保護真空泵浦之功能。
2. 在不同製程真空腔體之間，作為產品運送之用途。
3. 在真空腔體與真空泵浦之間，真空閘閥可提供調節控制壓力之功能。

真空閘閥的優點是什麼？

• 精密鑄造，密封性佳
• 重量輕，易於安裝
• 流體阻力小，流向也不受限制
• 應用範圍廣泛，多種介質氣體都能適用

超高真空閘閥推薦

本篇為大家推薦安徠科技VG02系列的超高真空閘閥，適用在各種製程條件下且可安裝在數千個要求嚴格的應用中，為您的真空系統提供更卓越的可靠性。

產品特色：

• 擁有多樣位置顯示選擇
• 採用磁簧開關感應的方式做開關訊號傳輸，或是選用機械式的微動開關做為訊號傳輸
• 閥體有分 不鏽鋼 與 鋁合金, 鋁合金可作硬化的陽極處理
• 閘門兩側採用特殊球窩型式設計，防止沉積物堆積，密封度得到保障
• 可另外加增目視位置機構, 可以直覺式的確認閥門位置是否正確

結論

安徠是一家真空閥門研發與製造商，已協助多種產業建置高品質真空系統。我們最先進的設備可確保高精度軌道焊接、洩漏檢查和包裝。我們所有的製造工藝均符合SEMI標準，並且我們也為半導體OEM工具製造商提供所有氣體管線焊件。憑藉在真空領域無與倫比的專業知識，提供全面的一站式解決方案，以滿足每位客戶的獨特需求。若您對真空閘閥或其他真空零配件有任何疑惑，歡迎聯絡我們！