方形傳輸閥

VD01P
大氣傳輸門閥(Door valve)，可以傳輸200mm(8 inch)、300(12 inch) and 450mm(18 inch)晶圓片。用來當作連接真空承載腔體與大氣端的隔離閥使用。
憑藉堅固的設計和直接方便的安裝，當閥板與後座推動的活塞組，採用其分離式方式，使閥門水平運行至關閉位置的時候，可大大減少震動並易於保養維護，特殊多活塞組的技術機構（無需任何潤滑劑）可最大限度地減少當閥門快速移動的時候，閘板接觸設備的閥口處，可能會造成的機械衝擊。
大部分閘閥是採用強制封閉的，即閘閥關閉時，要依靠外力強制將閘閥壓向閥座，以確保突面的密封性。但特殊多活塞組的技術機構特點：設計緊湊、振動小、啟閉平穩，避免過程中產生顆粒。