真空閥門

安徠公司的角閥(Angle Valve)為自主開發、製造，並創立自有品牌【TCT】，在外觀型式上區分為：直角型 / Y型。主要應用：初抽／前端製程，且該角閥的開啟行程最大可以趨近100% (全開式)，非常適用於高氣體通量的環境。

真空直角閥又可稱為真空擋板閥，主要由閥體、中蓋、閥板和執行機構等部分组成。它也是高真空系統的重要元件，具有可切斷或接通氣路的功能，它適用於低於至10-8 Torr真空度範圍使用。工作原理是通過控制閥門內的擋板開啟與關閉，以控制真空系统中的氣體的流動。

TCT在工業化產品設計上，結合實用與美感兼顧的理念，將柔和的線條融合在粗線條的工業產品中。整體設計不但維持工業產品的耐用度，也將工業產品的設計感提升。TCT全系列閥體採用高潔淨不鏽鋼材製作，外觀採用電解拋光處理，耐髒、易清理、防腐蝕也兼具美觀。氣壓缸採用鋁合金材料製作，以特殊的化學清洗處理，不易刮傷、防氧化，以滿足角閥在各種產業的應用。

• VP02P/VP02M/VY02P/VY02M 系列 (氣動/手動)
  標準式真空角閥/Inline閥
  標準型裝配AM350焊接波紋管，角閥的開啟行程可以趨近55%，可提供充足的氣導，適合於絕大多數的真空抽氣運用環境中，適用於乾式或油式真空機械泵浦的初級真空，另外閥門汽缸內配備磁環設計可加裝位置感應器，並搭配自動化控制。
• VP01P/VY01P 系列
  高氣導真空角閥/Inline閥
  高氣導型裝配AM350焊接波紋管，角閥的開啟行程可以趨近100%，提供全系列角閥產品最高氣導，焊接波紋管另外裝配保護裝置，可將粉塵隔絕在外，適合用於化學化合物或多粉塵的環境。
  另可搭配全氟橡膠圈，與加熱帶使用，提升對抗化學與粉塵的能力。
• VP04P/VY04P 系列
  微型真空角閥
  裝配316超柔軟成形波紋管，角閥的開啟行程可以趨近20%，成形波紋管壓縮長度較小，但是機械性強度高於焊接波紋管，擁有更強的耐壓差，適合於高頻率開關與較高壓差的環境。

安徠公司的閘閥(Gate valve)可以根據真空壓力範圍區分爲：低真空閘閥、中真空閘閥、高真空閘閥、超高真空閘閥，且可以依配置優質的驅動執行器在功能區上分為 : 氣動閘閥、手動閘閥。
安徠公司的閘閥(Gate valve)在關閉時，閘閥的密封面可以挑選不同材質的真空氟橡膠圈來密封，以對抗有高腐蝕性的氣體，並產生不同真空度等級的閘閥。

VG01P/VG01M
特殊的關節式連動驅動結構設計，搭配焊接式的密封波紋管可提供可靠的密封，憑藉其堅固、免潤滑的設計以及能夠烘烤溫度高達250°C，可滿足工業和半導體及研究應用的超高真空要求。閘板密封運行時不會產生任何摩擦，獨有的機械鎖定機構設計，當斷開氣體時閥門會鎖定在關閉位置。

VG03P/VG03M
真空閘閥的內部特殊閘閥密封板與升降閥杆一起直線移動，可避免任何微小粉塵產生，即使在極端的嚴苛製程條件和高腐蝕性製程環境下，也具有絕對的可靠性和耐用性和真空密封性。閥門的密封元件，可採用全氟橡膠密封圈或金屬密封墊圈來密封的。真空閥門的主要功能是在真空系統中，用來改變氣流方向、切斷或接通管路的真空系統元件。

VGA1P
鋁閘閥本體的材質選用6XXX系列鋁合金，是一種析出硬化型的鋁合金，是以鎂和矽作為其主要的合金元素，具有好的機械性質，適用在各種製程條件下且可安裝在數千個要求嚴格的應用中，證明了其卓越的可靠性。憑藉其模組化設計，製程工藝中會產品過高的粉塵，可能會導致閥門故障以及由於沉積物的形成，如果過多容易導致維護成本過高。但安徠的鋁閘閥採用特殊球窩型式設計，可以防止這種情況發生且可透過閘門兩側的球窩型式閘門板，更可確保增加真空的密封度。

VR01P
Transfer Valve 用來當作連接真空承載腔體與真空製程腔體或真空傳輸腔體的隔離閥使用，採用焊接形式波紋管密封，獨創自動機械鎖附設計至關閉位置，關閉時低振動、低磨損。
閘刀閥(Rectangular Valve)的開口尺寸可以依照客戶機台需求採客製化方式製作，以傳輸不同尺寸的玻璃基板，例如: G5(1100*1200) , G5.5(1300*1500)  G6(1500*1800) , G8(2300*2600) ....
閘刀閥採用獨有的L-Motion設計，閥板運行時沒有任何接觸，並降低了顆粒產生的風險，特別適合蝕刻或CVD等腐蝕性製程。此傳輸閥運行時透過單軸閥桿的氣動執行，實現閥門的L形狀態運動。在這種L形狀態運動中，閘門垂直上升並水平移動到關閉位置，而不與閥體發生任何接觸，在最後的運動中，閥板被水平推到設備的閥口處，密封元件的全氟橡膠密封圈，同時接受到完整的壓力接觸到設備的閥口處，這不僅可以避免任何摩擦及其潛在的顆粒生成，還可以最大限度地減少密封元件磨損、磨耗。
閘刀閥又可稱為方形閥或傳輸閥，被廣泛應用於鍍膜真空設備與光電產業產品，使用壽命最高可達500萬次，傳輸閥的開與關表現會比一般的圓形閥門還要好，因為傳輸閥在傳送產品時不會產生任何震動。

VD01P
大氣傳輸門閥(Door valve)，可以傳輸200mm(8 inch)、300(12 inch) and 450mm(18 inch)晶圓片。用來當作連接真空承載腔體與大氣端的隔離閥使用。
憑藉堅固的設計和直接方便的安裝，當閥板與後座推動的活塞組，採用其分離式方式，使閥門水平運行至關閉位置的時候，可大大減少震動並易於保養維護，特殊多活塞組的技術機構（無需任何潤滑劑）可最大限度地減少當閥門快速移動的時候，閘板接觸設備的閥口處，可能會造成的機械衝擊。
大部分閘閥是採用強制封閉的，即閘閥關閉時，要依靠外力強制將閘閥壓向閥座，以確保突面的密封性。但特殊多活塞組的技術機構特點：設計緊湊、振動小、啟閉平穩，避免過程中產生顆粒。