傳輸門閥

VR01P
Transfer Valve 用來當作連接真空承載腔體與真空製程腔體或真空傳輸腔體的隔離閥使用，採用焊接形式波紋管密封，獨創自動機械鎖附設計至關閉位置，關閉時低振動、低磨損。
閘刀閥(Rectangular Valve)的開口尺寸可以依照客戶機台需求採客製化方式製作，以傳輸不同尺寸的玻璃基板，例如: G5(1100*1200) , G5.5(1300*1500)  G6(1500*1800) , G8(2300*2600) ....
閘刀閥採用獨有的L-Motion設計，閥板運行時沒有任何接觸，並降低了顆粒產生的風險，特別適合蝕刻或CVD等腐蝕性製程。此傳輸閥運行時透過單軸閥桿的氣動執行，實現閥門的L形狀態運動。在這種L形狀態運動中，閘門垂直上升並水平移動到關閉位置，而不與閥體發生任何接觸，在最後的運動中，閥板被水平推到設備的閥口處，密封元件的全氟橡膠密封圈，同時接受到完整的壓力接觸到設備的閥口處，這不僅可以避免任何摩擦及其潛在的顆粒生成，還可以最大限度地減少密封元件磨損、磨耗。
閘刀閥又可稱為方形閥或傳輸閥，被廣泛應用於鍍膜真空設備與光電產業產品，使用壽命最高可達500萬次，傳輸閥的開與關表現會比一般的圓形閥門還要好，因為傳輸閥在傳送產品時不會產生任何震動。