半導體產業
半導體產業是當今最具戰略地位的核心產業。無論是智慧型手機、車用電子,還是醫療設備,幾乎所有現代電子產品都與此產業息息相關。
半導體是一種電導率介於導體(如銅)與絕緣體(如玻璃)之間的材料。為了準確控制其電性特質,半導體的製程必須在高度潔淨且真空的環境中進行。
由於製程複雜且供應鏈龐大,半導體產業通常劃分為三大區塊:上游(材料與設計)、中游(晶圓製造)、下游(封裝與測試)。而真空技術主要應用於中游晶圓代工階段,其關鍵性不容忽視。
在晶圓製造過程中,真空零組件廣泛應用於各項關鍵製程設備中,例如:
薄膜沉積(Thin Film Deposition)
乾式蝕刻(Dry Etching)
擴散(Diffusion)
離子佈植(Ion Implantation)
……等多項製程。
這些設備對於真空密封性、潔淨度與穩定性有極高要求,唯有高品質的真空元件,才能確保製程良率與產品穩定性。
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