顯示器產業
顯示器產業涵蓋 TFT-LCD、OLED、觸控面板與柔性顯示器,其生產過程大量依賴 真空製程技術,以實現高解析度、高對比度與超薄化的顯示效果,應用於手機、電視、車載面板、工業顯示器等各種終端產品。
在這些製程中,真空系統主要應用於:
薄膜沉積(例如:ITO、非晶矽、金屬層)
TFT 陣列的乾蝕刻與圖案化處理
OLED 面板的真空封裝與保護層蒸鍍
為了確保製程的良率與穩定性,TCT 精密真空閥門被廣泛應用於這些關鍵製程設備與真空子系統中。
TCT 閥門在顯示器設備中的應用:
| 閥門類型 | 製程應用階段 | 功能說明 |
|---|---|---|
| 角閥 (Angle Valves) | 過渡腔 (Load Lock)、傳輸腔室 | 真空隔離、排氣控制、高週期壽命 |
| 閘閥 (Gate Valves) | PECVD、濺鍍 (Sputtering)、蒸鍍系統 | 高通量密封、快速啟閉 |
| 直通閥 (Inline Valves) | 蝕刻與圖案化製程 | 緊湊安裝、可靠的氣體與真空流路控制 |
| 焊接組件 (Custom Weldments) | 真空歧管、氣體管路 | 無死角焊接流道、避免污染、維持潔淨度 |
★適用產品:(可點選連結到產品介紹頁籤)