顯示器產業

顯示器產業涵蓋 TFT-LCD、OLED、觸控面板與柔性顯示器,其生產過程大量依賴 真空製程技術,以實現高解析度、高對比度與超薄化的顯示效果,應用於手機、電視、車載面板、工業顯示器等各種終端產品。

 

在這些製程中,真空系統主要應用於:

  • 薄膜沉積(例如:ITO、非晶矽、金屬層)

  • TFT 陣列的乾蝕刻與圖案化處理

  • OLED 面板的真空封裝與保護層蒸鍍

為了確保製程的良率與穩定性,TCT 精密真空閥門被廣泛應用於這些關鍵製程設備與真空子系統中。

 

TCT 閥門在顯示器設備中的應用:

 

閥門類型製程應用階段功能說明
角閥 (Angle Valves)過渡腔 (Load Lock)、傳輸腔室真空隔離、排氣控制、高週期壽命
閘閥 (Gate Valves)PECVD、濺鍍 (Sputtering)、蒸鍍系統高通量密封、快速啟閉
直通閥 (Inline Valves)蝕刻與圖案化製程緊湊安裝、可靠的氣體與真空流路控制
焊接組件 (Custom Weldments)真空歧管、氣體管路無死角焊接流道、避免污染、維持潔淨度

 

適用產品:(可點選連結到產品介紹頁籤)

 

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