真空法蘭類型有哪些？法蘭規格要怎麼看？
真空法蘭是什麼？
真空法蘭（Vacuum Flange）是用於連接真空管件、閥門與腔室等真空部件，以達到完全密封的真空環境為其主要的作用。不鏽鋼真空法蘭是目前最為常見的材質，因為不鏽鋼擁有耐高溫、耐腐蝕與耐刮等物性優勢。儘管在不鏽鋼材質上有不錯的可靠性，但也需要使用者懂得如何挑選真空法蘭規格，才能確保您的真空管件系統萬無一失。真空系統對於密封性有著極高要求，因為密封失效導致壓力回升，就可能釀成無法挽回的意外或損失。
真空法蘭的應用有哪些？
真空法蘭的構造簡單，在真空工業自動化領域的應用範圍卻十分廣泛。舉凡需要真空處理的製程，都需要安裝真空管件，而以下這些產業就對真空製程有著非常嚴格的需求。
- 半導體工業：半導體製程中的薄膜沉積與蝕刻等多種製程環節，都需要無污染的真空環境，才能確保良率與品質。
- 醫藥產業：多種藥品需要依靠真空冷凍乾燥技術，以維持穩定的化學物性與物質結構，例如疫苗、蛋白製劑等。
- 冶金製造業：有些稀有金屬是無法在標準大氣壓條件底下進行熱處理作業，需要依靠真空冶金系統來進行真空燒結、真空熔鑄、真空焊接等。
真空法蘭的類型有哪些？
目前業界常用的真空法蘭規格型號為CF法蘭、KF法蘭和ISO法蘭。一般KF，ISO-K，ISO-F與CF都有針對不同地區使用真空工業規範，而產生不同的內徑尺寸差異，而最多用的三種真空工業規範，分別是美規ASTM，德規DN與日規JIS。
CF法蘭
CF法蘭屬於超高真空法蘭，所有口徑一律採用標準螺絲來做安裝，且是全金屬材料製成，具有非常優異的密封能力與耐熱性。CF法蘭帶有專門做金屬密封的橫切面尖緣的特徵，因此也號稱刀口法蘭。CF型號後面的數字是代表管件的內徑尺寸，以下則是常用的CF法蘭規格：
- 尺寸範圍：1/2" ~16.5”
- 真空度：最高達10-12 mbar.
- 材質：不鏽鋼 SUS304 或 SUS316L
- 產品連結：CF 刀口法蘭
KF法蘭
KF法蘭屬於真空系統中的快卸法蘭，所以也稱為QF法蘭（Quick Flange）。KF法蘭適用於多種真空應用，而且一般與管束、密封圈與中心圈組合使用。採用快速拆卸管束讓使用更方便卸安裝，只需要手動擰開或擰緊螺母就能快速拆卸與安裝。在外觀上有特殊斜角來配合管束內的角度，來達成密封的效果。
- 尺寸範圍：1/2" ~ 2"
- 真空度：最高達10-8 mbar.
- 材質：不鏽鋼SUS304 或 鋁鎂合金6061L
- 產品連結：KF管束 CLAMP
ISO法蘭
標準ISO法蘭針對兩種不同的固定方式，分成ISO-K與ISO-F法蘭。兩者都是屬於大尺寸的真空法蘭，只是ISO-K（ISO LF）的法蘭邊緣是用管夾固定著；而ISO-F（ISO LFB）則是在法蘭邊緣安裝傳統的螺栓孔，並以螺栓和螺母固定。ISO法蘭適合應用於需要經常裝拆的大尺寸真空管件應用。
- 尺寸範圍：2 -1/2"以上（一般市面上只做到標準尺寸到14"，超過這尺寸的口徑因為密封圈不易取得，所以都會客製化設計。）
- 真空度：最高達10-8 mbar.
- 材質：不鏽鋼SUS304 或 鋁鎂合金6061
真空法蘭廠商推薦
安徠是一家真空閥門研發製造為專業的製造商，擁有最先進的設備可確保高精度軌道焊接、洩漏檢查和包裝。我們所有的製造工藝均符合SEMI標準，並且我們也為半導體OEM工具製造商提供所有氣體管路焊件。若您正在尋找合適的真空法蘭，不妨聯絡我們！